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突破技术垄断,助力产业升级,鹏力超低温推出低温泵产品

日期:2020-04-30

       随着近年来我国产业升级加速,半导体行业、离子注入、真空镀膜及空间模拟等设备对低温泵的需求也日益增加,面对国外企业在低温泵领域的市场及技术垄断,鹏力超低温公司聚集力量、重点攻关,研发多种口径的低温泵产品,解决市场对低温泵国产化的需求。

      低温泵是一种利用低温冷凝、低温吸附方式获得真空环境的容积式真空泵,主要组成为氦气压缩机、GM制冷机及泵头。借助GM制冷机研发生产平台,超低温公司为各口径低温泵研发了具有完全自主知识产权的制冷机,实现了整套低温泵设备的完全国产化。

       针对不同行业对低温泵性能需求的差异,超低温公司研发了8寸、12寸、16寸等不同型号产品,各型号产品的氩气、氢气抽速及容积、极限真空、渡越容积等性能指标均达到国外产品同等水平。通过变频降温技术,大幅度缩短低温泵降温及再生过程所需时间,以8寸口径低温泵为例,与压缩机一拖三连接时,完全再生流程时间为100分钟,与国外尖端产品不相上下。所有型号低温泵产品配置手操器,提供远程操控的上位机接口及软件,并可通过中继控制器对多台低温泵、压缩机进行监控。

        鹏力超低温公司将对低温泵产品不断进行升级,提升性能指标及稳定性,为我国真空行业发展贡献力量!